典型案例

Array段AOI检测

应用场景

FPD前段制程。

项目难点

需检测的玻璃基板不仅尺寸大，且精度要求高，通常达到1-10μm。

埃科方案：埃科16K高阶线扫相机

可精确检测出FPD前段玻璃基板形貌不良的缺陷。

应用效果

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